ISO14644によるクリーンルームの規格が制定されて以来、

クリーン環境はより高い清浄度を確実に維持することが求め

られています。

その環境維持に必要な清浄度クラスの適性チェックと定期メ

ンテナンスの重要性はさらに高まっています。

規格に準じた信頼性の高いクリーンルーム環境維持に貢献で

きるように尽力いたします。

※クリーンルーム内の清浄度レベルが設計値に適しているか

　否かを確認します。

※報告書作成費（弊社フォーマットでの作成）、試験成績書、

　校正証明書、トレサビリティ付

吹き出し風速（風量）が適正に維持されているか測定します。

クリーンルームへの給気量が規定されている条件に適してい

るかどうかフィルターの目詰まりがないか等の確認をします。

※風速測定によって必要な風量が出ているか算出することが

　出来ます。

※測定方法、判定基準の詳細については、別途打ち合わせを

　お願い致します。

クリーンルームの空気清浄度を保つために、装着フィルター

に対して粉塵（漏洩）がないことを測定します。

HEPAフィルタとは定格風量で粒径 0.3μm以上の粒子に対

する捕集効率が 99.97％ 以上となるように設計された高性

能フィルタのことです。

基本的にHEPAフィルタは据付け時及び定期的にリーク試験

を実施し、完全性を確認する必要があります。

※HEPAフィルターの交換作業も対応しております。